维持真空腔体内部真空状态的措施

2023/11/27

以下措施可以帮助维持真空腔体内部真空状态：1、安装与调试：在安装时，应确保其密封性良好。如果发现有泄漏，应立即采取措施进行修复。调试阶段应确保设备工作正常，各项参数设置合理。2、保...+ More

谈谈真空腔体的压力控制系统

2023/11/11

真空腔体的压力控制系统是维持内部真空状态的关键组成部分。压力控制系统通常由真空泵、压力传感器和控制器等组成。真空泵是压力控制系统中的核心设备，它的作用是将内部的气体抽出，以降低内部...+ More

如何确保特材真空腔体内部真空状态的稳定性

2023/11/11

确保特材真空腔体内部真空状态的稳定性需要采取一系列措施。以下是一些建议：1、选择高品质的材料：材料应该具有高强度、耐腐蚀性和良好的密封性能。例如，不锈钢是一种常见的材料选择，因为它...+ More

介绍一下真空腔体的运行参数

2023/10/19

真空腔体在半导体制造中有着重要的作用，其运行参数也是评价其性能的重要标准。以下是一些常见的运行参数：1、真空度：反应釜重要的运行参数之一，它直接决定了半导体制造过程中的环境状况。高...+ More

在真空腔体制作过程中，采用哪些表面处理方式？

2023/10/19

真空腔体是一种保持内部为真空状态的容器，主要应用于半导体制造中。反应釜的制作需要考虑到容积、材质和形状。不锈钢是高真空系统的主要结构材料，具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接...+ More