为了保障真空腔体的加工精度，需要采取以下措施：

       1、使用高精度机床和工具：选择高精度、高稳定性的机床和工具，如数控机床、线切割机床、坐标磨床等，以及合适的刀具和夹具，以确保加工过程中的稳定性和准确性。

       2、控制加工过程：在加工过程中，需要严格控制加工参数，如切削速度、进给量、切削液等，以及合理选择切削路径和加工顺序，避免过切、少切、震颤等问题。

       3、进行误差补偿：对于加工过程中出现的误差，可以通过误差补偿的方法进行修正。例如，使用补偿量来修正刀具磨损、热变形等引起的误差。

       4、进行质量检测：在加工完成后，需要对真空腔体进行质量检测，如表面粗糙度、尺寸精度、形状精度等。如果发现不合格的产品，需要及时进行返工或报废处理。

       5、保持加工环境清洁：加工过程中需要保持环境清洁，避免灰尘、杂质等对加工精度的影响。

       6、进行员工培训：定期对员工进行技能培训，提高员工的技能水平和操作规范意识，确保每个员工都能按照规定的要求进行操作。

       综上所述，严格控制精度是真空腔体加工过程中的关键环节。通过采取以上措施，可以有效地提高加工精度和整体质量水平。