为了降低真空腔体的制作成本，采用铸造铝合金来制作腔体也逐渐普及。另外，采用钛合金来制作不同用途真空腔体的例子也不少。

           为了减小腔体内壁的表面积，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。高真空系统的腔体，较多的是利用电解抛光来进行表面处理。