真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子或其他有机物，成为影响真空度的放气源。为实现高真空，要对腔体进行150～250℃的高温烘烤，以促使材料表面和里面的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。真空腔体比较经济简单的烘烤方法是使用加热带，加热带的外面再用铝箔包裹，以免热量散失的同时也可使腔体均匀受热。