真空腔体的概述

2019/06/17

这种真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的，而晶圆容量不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点是机台定位的静态、动态响应，抽气时间、稳...+ More

真空腔体烘烤

2019/06/04

观察真空腔体烘烤时的真空度变化结果，烘烤采用缠绕加热带的方式。当真空度达到约10-3Pa时，开始给加热带逐渐通电加热，保持腔体在150℃下进行长时间烘烤。烘烤过程中关闭离子泵，同时...+ More

真空腔体的制作

2019/06/04

焊接是真空腔体制作中重要的环节之一。为避免大气中熔化的金属和氧气发生化学反应从而影响焊接质量，通常采用氩弧焊来完成焊接。氩弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷射保护气体氩气，以防止熔...+ More

真空腔体的制作材料

2019/06/04

真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料。其中300系列不锈钢是含Cr10%～20%的低碳钢，具有优良的抗腐...+ More

真空阀门注脂时的注意事项

2019/05/11

真空阀门注脂时常常忽视注脂量多少的问题，注脂枪加油后，操作人员选择阀门的和注脂联接方式后，进行注脂作业。存在着两种情况：一方面注脂量少导致注脂不足，密封面因缺少润滑剂而加快磨损。另...+ More